термометрия методы обработки градусников

1). I.P. Herman, Real-time Optical Thermometry During Semiconductor Processing / IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 1995. V.1, No.4. P.1047-1053. The optical techniques used to monitor the temperature of wafers during semiconductor processing are surveyed. The physical principles underlying each method are described. Applications of each optical diagnostic are presented, along with the strength and weaknesses of the probe. Most of these optical diagnostics have been implemented in research reactors to monitor wafer temperature during one or several types of thin-film processing, such as molecular beam epitaxy, rapid thermal processing, and plasma etching. Pyrometry is the workhorse of noninvasive optical probes of temperature, although it needs supporting models and optical measurements to improve accuracy. Other optical thermometric wafer diagnostics are very promising and are being developed intensively, particularly reflection interferometry, transmission spectroscopy, and various interferometry methods that directrly measure the thermal expansion of the wafer. 1. Introduction. 2. Need for Thermometry in Thin-Film Processing. 3. Physical Basis of Optical Thermometry. 4. Comparison of Optical Thermometry Probes. 5. Concluding Remarks. References – 110 titles. 2). А.Н. Магунов, О.В. Лукин, Оптические методы измерения температуры полупроводниковых кристаллов в диапазоне 300-800 К (обзор) / Микроэлектроника. 1996. Т.25, 2. С.97-111. В обзоре проведен сравнительный анализ методов термометрии полупроводниковых кристаллов в процессах микротехнологии. Обсуждаются условия проведения измерений и ограничения традиционных методов (термопарного и радиационного). Рассматриваются физические принципы и особенности, положенные в основу быстро развивающейся группы методов, в которых измеряются температурно-чувствительные параметры полупроводников. Проведены оценки методов по ряду критериев, важных для температурных измерений: производительности, помехозащищенности, чувствительности, температурному диапазону измерений, идентифицируемости сигнала. 1. Введение. 2. Требования к методам. 3. Ограничения традиционных методов термометрии. 4. Общая схема оптической термометрии. 5. Термометрия по отражению и пропусканию света кристаллами. 5.1. Коэффициенты отражения и пропускания. 5.2. Спектры пропускания-отражения и оптические параметры монокристалла кремния при 300 К. 5.3. Температурные зависимости оптических параметров кристаллов. 5.4. Температурная зависимость спектров пропускания и отражения. 5.5. Амплитудные методы термометрии. 5.6. Спектральные методы термометрии. 5.7. Фазовые методы термометрии. 5.8. Измерительные характеристики методов. 6. Другие методы оптической термометрии. 7. Заключение. Список литературы – 53 наименования. 3). J. Kolzer, E. Oesterschulze, G. Deboy, Thermal Imaging and Measurement Techniques for Electronic Materials and Devices / Microelectronic Engineering. 1996. V.31. P. 251-270. The temperature stress occurring during electrical operation plays an important part in optimizing the performance and reliability of electronic devices. Thermal stress results from short transient processes as well as from long-term cyclic stresses in a real system environment. The thermal characterization of material, electronic components and modules by experiment represents an important contribution to quantifying and minimizing temperature stresses within the scope of a comprehensive approach to thermal management. This overview article describes the principles, characteristics and applications of optical techniques that measure the absolute or relative temperatures of electronic devices or detect the thermal properties of materials. The range of techniques extends from conventional thermography via scanning laser probing (beam reflection and deflection techniques) up to near-field thermal microscopy. The presentation focuses on passive techniques that investigate the device under test in electrical operation (self-heating), but also take a look as photothermal methods that heat the specimen with a laser beam and analyze the thermal response (active techniques). 1. Introduction. 2. Methodology. 3. Thermal Imaging and Measurement Techniques. 3.1. Mapping techniques. 3.1.1. Liquid crystal thermography. 3.1.2. Fluorescent microthermography. 3.1.3. Infrared thermography. 3.2. Optical beam displacement (reflected light). 3.2.1. Optical interferometry. 3.2.2. Thermoreflectance laser probing. 3.3. Optical beam deflection (mirage effect). 3.3.1. Photothermal deflection spectroscopy. 3.3.2. Internal infrared-laser deflection. 3.4. Near-field techniques: Scanning thermal microscopy. 3.4.1. STM-based thermocouple probe. 3.4.2. SFM-based resistive probe tip. 4. Conclusions. References – 114 titles. 4). А.Н.Магунов, Лазерная интерференционная термометрия полупроводников и диэлектриков (обзор) / Приборы и техника эксперимента. 1998. 3. С.6-18. Дан обзор работ, посвященных развитию и применению метода лазерной термометрии твердого тела, имеющего форму плоскопараллельной пластинки, выполняющей роль интерферометра Фабри-Перо, оптическая толщина которого изменяется с температурой. Температурная чувствительность интерференционной термометрии в 102 – 103 раз выше чувствительности других лазерных методов и в сотни раз выше чувствительности платинового термометра сопротивления. Обсуждается выбор оптической схемы, методы обработки сигнала, диапазон измеряемых температур. Приведены примеры применения метода для термометрии поверхностей, подвергаемых воздействию плазмы и лазерного излучения. Введение. Регистрация и обработка интерферограммы. Форма и амплитуда резонансов. Температурная чувствительность. Диапазон измеряемых температур. Интерферометр Фабри-Перо с неидеальными зеркалами. Знак изменения фазового сдвига. Инерционность термометрии. Влияние зондирующего пучка на результат измерений. Сравнение с другими методами лазерной термометрии. Области и условия применения метода. Заключение. Список литературы – 68 на

Обзоры (аннотации и оглавления)

Литература по лазерной термометрии твердых тел

Основные разделы

Основы термометрии

Первый универсальный русскоязычный портал

Все о датчиках температуры.

Литература по лазерной термометрии твердых тел